超聲波流量計(jì)主要應(yīng)用在半導(dǎo)體制造裝置內(nèi),涂布藥液的流量管理。它是一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體制造裝置內(nèi),涂布藥液的流量管理的一種測(cè)量?jī)x器,此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭,相互進(jìn)行收發(fā)信號(hào),測(cè)定各自傳播時(shí)間;順流的超聲波會(huì)很快到達(dá),相反逆向的超聲波則會(huì)較晚達(dá)到,根據(jù)傳播時(shí)間算出流速,并通過流速算出流量。
我們現(xiàn)在要知道的是在它使用的各種測(cè)量流量的場(chǎng)所和領(lǐng)域過程中,如何做到正確使用超聲波流量計(jì)對(duì)其使用壽命至關(guān)重要。
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